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靶材包装在双层真空塑料袋中, 我们建议用户将靶材无论是金属或陶瓷类保存在真空包装中,
尤其是帖合靶材更需要保存在真空条件下,以避免帖合层氧化影响贴合质量。
对于金属靶材的包装,我们建议少需要包装在洁净的塑料袋中。
靶材保养技巧:
为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧,有必要阶段性的除去溅射轨道中间及两侧堆积的溅射物,这也有助于用户可以连续以大功率密度进行溅射。
靶材清洁的目的是去除靶材表面可能存在的灰尘或污垢。金属靶材可以通过四步清洁:
步:用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁;
第二步:与步类似用酒精清洁;
第三步:用去离子水清洗。
在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。
氧化物及陶瓷靶材的清洗建洁用“无绒布”进行清洁。
第四步:在清除完有污垢的区域后,再用高压低水气的氩气冲洗靶材,以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒。
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